/
/
Compacto holográfica microscopio digital Lente menos por MEMS Inspección y Caracterización
A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
10,141 Views
•
10:28 min
•
July 05, 2016
DOI:
Summary
Automatically generated
Presentamos un sistema holográfico digital de reflexión compacto (CDHM) para la inspección y caracterización de dispositivos MEMS. Un diseño de lente de menor a través de una onda de entrada divergente proporciona magnificación geométrica natural se demostró. Ambos se presentan los estudios estáticos y dinámicos.
Explore More Videos
Compact Digital Holographic MicroscopeMEMS InspectionMEMS CharacterizationFull-field Optical MeasurementNon-contactReal-timeHigh-resolution3D MappingLens-lessCompactWafer InspectionMicro-opticsDiffractive OpticsBioimagingSilicon WaferGold Electrodes3D View SoftwareDMx 41BU02 CameraY800 Video FormatReflection Or Transmission Mode633 Nm Wavelength4.65 μm Pixel Size
Read Article
Cite this Article
Bourgade, T., Jianfei, S., Wang, Z., Elsa, R., Asundi, A. Compact Lens-less Digital Holographic Microscope for MEMS Inspection and Characterization. J. Vis. Exp. (113), e53630, doi:10.3791/53630 (2016).
Copy