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MEMS検査および特性評価のためのコンパクトなレンズレスデジタルホログラフィック顕微鏡

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Engineering

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Compact Lens-less Digital Holographic Microscope for MEMS Inspection and Characterization

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MEMS検査および特性評価のためのコンパクトなレンズレスデジタルホログラフィック顕微鏡

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10:28 min

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July 05, 2016

DOI:

10.3791/53630-v

DOI:

10.3791/53630-v

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10:28 min

July 05, 2016

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3 Views

Thomas Bourgade¹, Sun Jianfei¹, Zhaomin Wang¹, Rosmin Elsa², Anand Asundi^1,2

¹School of Mechanical and Aerospace Engineering, Center of Laser and Optical Engineering,Nanyang Technological University, ²d’Optron Pte Ltd

Summary

私たちは、MEMSデバイスの検査および特徴付けのためにコンパクトな反射デジタルホログラフィックシステム（CDHM）を提示します。自然の幾何学的な倍率を提供発散入力波を用いたレンズレス設計が実証されています。静的および動的の両方の研究が提示されています。

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