Journal
/
/
עדשה-פחות קומפקטי מיקרוסקופ הולוגרפי הדיגיטלי פיקוח MEMS ואפיון
JoVE Journal
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Engineering
Compact Lens-less Digital Holographic Microscope for MEMS Inspection and Characterization
DOI:

10:28 min

July 05, 2016

, , , ,

Chapters

  • 00:05Title
  • 01:05Preparations
  • 03:52Data Acquisition
  • 05:38Data Analysis for Static Measurements
  • 06:40Sample Preparation and Data Analysis for Dynamic Measurements
  • 07:42Results: CDHM Compared to Atomic Force Microscopy and Other Results
  • 09:17Conclusion

Summary

Automatic Translation

אנו מציגים מערכת הולוגרפית דיגיטלית קומפקטית השתקפות (CDHM) לבדיקה ואפיון של התקני MEMS. עיצוב-פחות עדשה באמצעות גל קלט לסטות מתן גדלה גיאומטרית טבעית מודגם. שני המחקרים סטטי ודינמי מוצגים.

Related Videos

Read Article