Journal
/
/
المدمجة عدسة أقل الرقمي المجسم مجهر لفحص ممس وتوصيف
JoVE Journal
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Engineering
Compact Lens-less Digital Holographic Microscope for MEMS Inspection and Characterization

المدمجة عدسة أقل الرقمي المجسم مجهر لفحص ممس وتوصيف

10,141 Views

10:28 min

July 05, 2016

DOI:

10:28 min
July 05, 2016

3 Views
, , , ,

Summary

Automatically generated

نقدم انعكاس المدمجة نظام المجسم الرقمي (CDHM) للتفتيش وتوصيف الأجهزة MEMS. وأظهر تصميم عدسة أقل باستخدام موجة مدخلات متباينة توفير التكبير الهندسي الطبيعي. كلاهما قدم دراسات والدينامية.

Read Article