/
/
Compact Lens-less Digitale Holografische Microscoop voor MEMS Inspectie en karakterisering
A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
10,141 Views
•
10:28 min
•
July 05, 2016
DOI:
Summary
Automatically generated
We presenteren een compact reflectie digitale holografische systeem (CDHM) voor inspectie en karakterisering van MEMS. Een lens-less ontwerp met behulp van een divergerende ingang golf verstrekken van natuurlijke geometrische vergroting wordt aangetoond. Zowel statische als dynamische studies worden gepresenteerd.
Explore More Videos
Compact Digital Holographic MicroscopeMEMS InspectionMEMS CharacterizationFull-field Optical MeasurementNon-contactReal-timeHigh-resolution3D MappingLens-lessCompactWafer InspectionMicro-opticsDiffractive OpticsBioimagingSilicon WaferGold Electrodes3D View SoftwareDMx 41BU02 CameraY800 Video FormatReflection Or Transmission Mode633 Nm Wavelength4.65 μm Pixel Size
Read Article
Cite this Article
Bourgade, T., Jianfei, S., Wang, Z., Elsa, R., Asundi, A. Compact Lens-less Digital Holographic Microscope for MEMS Inspection and Characterization. J. Vis. Exp. (113), e53630, doi:10.3791/53630 (2016).
Copy