Burada optik fazlı diziler içeren bir SiN entegre fotonik devrenin çalışmasını anlatıyoruz. Devreler yakın kızılötesi düşük sapma lazer ışınları yontmak ve iki boyutlu yönlendirmek için kullanılır.
Tyler, N. A., Guerber, S., Fowler, D., Malhouitre, S., Garcia, S., Grosse, P., Szelag, B. Characterization of SiN Integrated Optical Phased Arrays on a Wafer-Scale Test Station. J. Vis. Exp. (158), e60269, doi:10.3791/60269 (2020).