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April 01, 2020
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ここでは、光相取アレイを含むSiN集積フォトニック回路の動作について述べます。回路は、近赤外線で低発散レーザービームを放出し、それらを2次元で操縦するために使用されます。
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Tyler, N. A., Guerber, S., Fowler, D., Malhouitre, S., Garcia, S., Grosse, P., Szelag, B. Characterization of SiN Integrated Optical Phased Arrays on a Wafer-Scale Test Station. J. Vis. Exp. (158), e60269, doi:10.3791/60269 (2020).
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