Hier beschrijven we de werking van een SiN geïntegreerd fotonisch circuit met optische gefaseerde arrays. De circuits worden gebruikt om lage divergentie laserstralen uit te zenden in de buurt infrarood en sturen ze in twee dimensies.
Tyler, N. A., Guerber, S., Fowler, D., Malhouitre, S., Garcia, S., Grosse, P., Szelag, B. Characterization of SiN Integrated Optical Phased Arrays on a Wafer-Scale Test Station. J. Vis. Exp. (158), e60269, doi:10.3791/60269 (2020).