Ici, nous décrivons le fonctionnement d’un circuit photonique intégré SiN contenant des tableaux optiques échelonnés. Les circuits sont utilisés pour émettre des faisceaux laser à faible divergence dans l’infrarouge proche et les orienter en deux dimensions.
Tyler, N. A., Guerber, S., Fowler, D., Malhouitre, S., Garcia, S., Grosse, P., Szelag, B. Characterization of SiN Integrated Optical Phased Arrays on a Wafer-Scale Test Station. J. Vis. Exp. (158), e60269, doi:10.3791/60269 (2020).