هنا ، ونحن نصف تشغيل دائرة ضوئية متكاملة SiN تحتوي على صفائف على مراحل البصرية. وتستخدم الدوائر تنبعث منها أشعة الليزر منخفضة الاختلاف في الأشعة تحت الحمراء القريبة وتوجيهها في بعدين.
Tyler, N. A., Guerber, S., Fowler, D., Malhouitre, S., Garcia, S., Grosse, P., Szelag, B. Characterization of SiN Integrated Optical Phased Arrays on a Wafer-Scale Test Station. J. Vis. Exp. (158), e60269, doi:10.3791/60269 (2020).