Здесь мы описываем работу интегрированной фотонической цепи SiN, содержащей оптические фазированные массивы. Схемы используются для излучать лазерные лучи с низкой дивергенцией в ближнем инфракрасном диапазоне и направлять их в двух измерениях.
Tyler, N. A., Guerber, S., Fowler, D., Malhouitre, S., Garcia, S., Grosse, P., Szelag, B. Characterization of SiN Integrated Optical Phased Arrays on a Wafer-Scale Test Station. J. Vis. Exp. (158), e60269, doi:10.3791/60269 (2020).