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Caracterização de arrays em fases ópticas integradas siN em uma estação de teste em escala de wafer
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April 01, 2020
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Aqui, descrevemos o funcionamento de um circuito fotônico integrado SiN contendo matrizes ópticas em fases. Os circuitos são usados para emitir raios laser de baixa divergência no infravermelho próximo e guiá-los em duas dimensões.
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Tyler, N. A., Guerber, S., Fowler, D., Malhouitre, S., Garcia, S., Grosse, P., Szelag, B. Characterization of SiN Integrated Optical Phased Arrays on a Wafer-Scale Test Station. J. Vis. Exp. (158), e60269, doi:10.3791/60269 (2020).
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