Fabrication of 3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS)

Se fabricaron microfibras de carbono vítreo largas y huecas basadas en la pirólisis de un producto natural, cabello humano. Las dos etapas de fabricación de los sistemas microelectromecánicos de carbono y nanoelectromecánicos de carbono, o C-MEMS y C-NEMS, son: (i) fotolitografía de un precursor de polímero rico en carbono y (ii) pirólisis del precursor de polímero modelado.

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Fabricación de sistemas microelectromecánicos de carbono 3D (C-MEMS)

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