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3Dカーボンマイクロエレクトロメカニカルシステム(C-MEMS)の製作
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Fabrication of 3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS)

3Dカーボンマイクロエレクトロメカニカルシステム(C-MEMS)の製作

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08:01 min

June 17, 2017

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08:01 min
June 17, 2017

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天然の生成物であるヒトの毛髪の熱分解に基づいて、長くて中空のガラス状炭素マイクロファイバーが製造された。カーボンマイクロエレクトロメカニカルおよびカーボンナノエレクトロメカニカルシステム、またはC-MEMSおよびC-NEMSの2つの製造工程は、(i)炭素リッチなポリマー前駆体のフォトリソグラフィおよび(ii)パターン化ポリマー前駆体の熱分解である。

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