Journal
/
Engineering
/
Изготовление трехмерных углеродных микроэлектромеханических систем (C-MEMS)
JoVE Journal
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Engineering
Fabrication of 3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS)
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Изготовление трехмерных углеродных микроэлектромеханических систем (C-MEMS)

русский

Automatically Generated

11,963 Views

•

08:01 min

•

June 17, 2017

DOI:

10.3791/55649-v

DOI:
10.3791/55649-v

•

08:01 min
June 17, 2017

•

2 Views
, , ,
1School of Engineering and Sciences,Tecnologico de Monterrey, 2Department of Mechanical and Aerospace Engineering,University of California, 3BBB Inc

Summary

Automatically generated

Длинные и полые стеклообразные углеродные микроволокна были изготовлены на основе пиролиза натурального продукта, человеческого волоса. Двумя стадиями изготовления углеродных микроэлектромеханических и углеродных наноэлектромеханических систем, или С-МЭМС и С-НЭМС, являются: (i) фотолитография богатого углеродом предшественника полимера и (ii) пиролиз предшественника узорчатого полимера.

Explore More Videos

3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS)Carbon Microelectromechanical SystemsPolymer PrecursorCarbon FabricationCarbon StructuresIsometric ShrinkageCarbon AllotropesGraphiticDiamond-likeGlassy CarbonPolymer Structure FabricationSpin CoatingPhotoresistPhotolithography

Read Article

Cite this Article

Pramanick, B., Martinez-Chapa, S. O., Madou, M., Hwang, H. Fabrication of 3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS). J. Vis. Exp. (124), e55649, doi:10.3791/55649 (2017).

Download .ris file

Copy

Share Video

.

Copy