Journal / Engineering /

JoVE Journal
Engineering

É necessário ter uma assinatura JoVE para assistir este Faça login ou comece sua avaliação gratuita.

JoVE Journal Engineering

שימוש של חלקיקים של הקורבן להסיר את ההשפעות של Shot-רעש חורים לתקשר מפוברק על ידי E-הקורה ליתוגרפיה

Click here for the English version

שימוש של חלקיקים של הקורבן להסיר את ההשפעות של Shot-רעש חורים לתקשר מפוברק על ידי E-הקורה ליתוגרפיה

Article DOI: 10.3791/54551-v • 07:51 min • February 12th, 2017

February 12th, 2017 •

Shankar B. Rananavare¹, Moshood K. Morakinyo²

¹Department of Chemistry, Portland State University, ²Logic Technology Department, Intel Corporation

Capítulos

Resumo
Automatic Translation

English (Original)
العربية (Arabic)
中文 (Chinese)
dansk (Danish)
Nederlands (Dutch)
français (French)
Deutsch (German)
עברית (Hebrew)
हिंदी (Hindi)
italiano (Italian)
日本語 (Japanese)
한국어 (Korean)
norsk (Norwegian)
português (Portugese)
русский (Russian)
español (Spanish)
svenska (Swedish)
Türkçe (Turkish)

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

באופן אחיד חלקיקים בגודל יכולים להסיר תנודות בממדי קשר חור בדוגמת פולי (methacrylate מתיל) (PMMA) סרטי photoresist על ידי קרן אלקטרונים (E-beam) ליתוגרפיה. התהליך כרוך תיעול אלקטרוסטטית חלקיקים במרכז הפקדה חורה קשר, ואחריו הזרמה מחדש photoresist ו פלזמה וצעדים רטוב-תחריט.

שימוש של חלקיקים של הקורבן להסיר את ההשפעות של Shot-רעש חורים לתקשר מפוברק על ידי E-הקורה ליתוגרפיה

Capítulos

Tags

Vídeos Relacionados

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.