Engineering
É necessário ter uma assinatura JoVE para assistir este Faça login ou comece sua avaliação gratuita.
Capítulos
Resumo
Please note that all translations are automatically generated.
Uniforme grootte nanodeeltjes kunnen schommelingen in contact gat afmetingen patroon in poly (methyl methacrylaat) (PMMA) fotolakfilms door elektronenstraal (E-beam) lithografie te verwijderen. Het proces omvat elektrostatische trechtervorming naar het centrum en deposito nanodeeltjes in contact gaten, gevolgd door fotoresist reflow en plasma- en nat-etsen stappen.