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Chapters
- 00:05Introduction
- 00:54Nano-height Channel Mask Preparation
- 01:53Nano-height Channel Fabrication
- 02:49Room Temperature Plasma-activated Bonding
- 04:56Experimental Setup and Testing
- 05:54Results: Representative Fluid Capillary Filling and Surface Acoustic Wave (Saw)-Induced Fluid Draining
- 06:45Conclusion
Nous démontrons la fabrication des canaux de nanoheight avec l'intégration des dispositifs acoustiques d'actionnement d'onde de surface sur le niobate de lithium pour la nanofluidique acoustique par l'intermédiaire de la photolithographie de décollage, de la gravure réactive d'ion de nano-profondeur, et du plasma de température ambiante liaison multicouche activée en surface du niobate au lithium monocristal, un processus tout aussi utile pour lier le niobate de lithium aux oxydes.
