Waiting
로그인 처리 중...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal
Engineering
Author Produced

JoVE 비디오를 활용하시려면 도서관을 통한 기관 구독이 필요합니다. 전체 비디오를 보시려면 로그인하거나 무료 트라이얼을 시작하세요.

Design en karakterisatie methodologie voor efficiënte Wide Range afstembare MEMS Filters
 
Click here for the English version

Design en karakterisatie methodologie voor efficiënte Wide Range afstembare MEMS Filters

Article DOI: 10.3791/56371-v 15:25 min February 4th, 2018
February 4th, 2018

챕터

요약

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Een protocol voor een vaste-fixed beam-ontwerpen met behulp van een laser Doppler vibrometer (LDV), met inbegrip van de meting van de frequentie afstemmen, wijziging van tuning mogelijkheden, en het vermijden van apparaatfout en stiction, wordt gepresenteerd. De superioriteit van de LDV-methode over de netwerkanalyse blijkt toe te schrijven aan zijn hogere modus vermogen.

Tags

Engineering kwestie 132 microschakelaars systems (MEMS) filters complementary metal-oxide semiconductor (CMOS)-MEMS microresonator breed scala actieve frequentie afstemming hoge-modus resonantie Joule Verwarming stiction laser Doppler vibrometer () LDV)
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter