JoVE 비디오를 활용하시려면 도서관을 통한 기관 구독이 필요합니다. 전체 비디오를 보시려면 로그인하거나 무료 트라이얼을 시작하세요.
Chapters
- 00:00Title
- 02:51Selecting and Designing Optimum Structure
- 03:31Modeling and Fabrication on CMOS
- 05:39Device Testing: Thermal Camera Test for Embedded Heaters
- 06:27Device Testing: Calibrating LDV and Test Setup
- 09:19Device Testing: Testing 68μm Long MEMS Filters via LDV
- 10:32Device Testing: Higher Mode Measurement
- 11:01Avoiding Device Failures
- 11:45Avoiding Failures: High Thermal Stress and Burning
- 12:10Boosting The Tuning Capability
- 13:16Results
- 14:07Conclusion
Tuning, tuning yeteneklilik ve kaçınma aygıt hatası ve stiction, değişiklik frekans ölçümü de dahil olmak üzere bir lazer Doppler vibrometer (LDV), kullanarak sabit-sabit ışın dizaynı için bir protokol sunulmuştur. LDV yöntemi ağ Çözümleyicisi üzerinde üstünlüğü nedeniyle daha yüksek modu kapasitesini gösterilmiştir.
