Journal
/
Ingénierie
/
Fabricage van uniforme nanoschaalholtes via Silicon Direct Wafer Bonding
Journal JoVE
Ingénierie
Un abonnement à JoVE est nécessaire pour voir ce contenu.  Connectez-vous ou commencez votre essai gratuit.
Journal JoVE Ingénierie
Fabrication of Uniform Nanoscale Cavities via Silicon Direct Wafer Bonding
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Fabricage van uniforme nanoschaalholtes via Silicon Direct Wafer Bonding

DOI:
10.3791/51179-v

•

10:32 min

•

January 09, 2014

•

, , , ,
1Department of Physics,The State University of New York at Buffalo, 2Joint Quantum Institute,University of Maryland, 3The National Institute of Standards and Technology, 4Cryogenics and Fluids Branch,NASA Goddard Space Flight Center, 5HRL Laboratories

Chapitres

  • 00:05Titre
  • 01:54Bonding Preparation
  • 04:38Wafer Bonding
  • 08:04Results: Analysis of Bonded Wafers
  • 09:59Conclusion

Summary

Traduction automatique

Traduction automatique

Er wordt een methode beschreven voor het permanent verlijmen van twee siliciumwafels om een uniforme behuizing te realiseren. Dit omvat wafervoorbereiding, reiniging, RT-hechting en gloeiprocessen. De resulterende gebonden wafers (cellen) hebben uniformiteit van de behuizing ~1%1,2. De resulterende geometrie maakt metingen van beperkte vloeistoffen en gassen mogelijk.

Tags

Silicon Direct Wafer BondingNanoscale CavitiesConfined 4HeLambda TransitionUniform ConfinementThermal OxideLithographic PatterningRCA CleaningHigh-temperature AnnealingThermal And Hydrodynamic Properties

Article

Embed

AJOUTER À LA PLAYLIST

Usage Statistics

Vidéos Connexes

Fabricage en karakterisering van fotonische kristallen Slow lichtgolfgeleiders en holtes

Concurrent Kwantitatieve geleidbaarheid en mechanische eigenschappen metingen van organische fotovoltaïsche Materialen met AFM

Patroonvorming via Optical Verzadigbare Transitions - fabricage en karakterisering

Thermische Meettechnieken in Analytical Microfluïdische Devices

Voorgeschreven 3-D Direct Schrijven van Suspended Micron / Sub-micron schaal Fiber Structures via een Robotic doseersysteem

Oplosmiddel Bonding voor de productie van PMMA en COP microfluïdische apparaten

Een nieuwe methode voor<em> In situ</em> Elektromechanische Karakterisering van Nanoscale Exemplaren

Fabricage van magnetische nanostructuren op siliciumnitride membranen voor magnetische Vortex Studies met behulp van Transmission microscopie technieken

Fabricage van driedimensionale grafeen gebaseerde Polyhedrons via Origami-achtige zelf vouwen

Fabricage van robuust Nanoscale contact tussen een zilver Nanowire elektrode en CdS buffer Layer in Cu (in, ga) se2 dunne-film zonnecellen

Read Article