Микроперфорацией литографии подход разработан для создания микро-и субмикронных структур на верхней, боковой стенки и нижней поверхностях полимерных подложках. Он преодолевает препятствия структурирование проводящих полимеров и создание боковины моделей. Этот метод позволяет быстро изготовление нескольких функций и не содержит агрессивных химии.