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Herstellung von großflächigen vertikale 2D Crystal Hetero-Strukturen durch Sulfurization Übergangsmetall Filme für Gerät Herstellung
 
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Herstellung von großflächigen vertikale 2D Crystal Hetero-Strukturen durch Sulfurization Übergangsmetall Filme für Gerät Herstellung

Article DOI: 10.3791/56494-v • 08:50 min • November 28th, 2017
November 28th, 2017 •
1,2, 2,3, 1,2, 1,2
1Graduate Institute of Electronics Engineering, National Taiwan University, 2Research Center for Applied Sciences, Academia Sinica, 3Graduate Institute of Photonics and Optoelectronics, National Taiwan University

Kapitel

Summary
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Durch die Sulfurization der bereits hinterlegten Übergangsmetalle können großflächige und vertikale 2D Hetero-Kristallstrukturen hergestellt werden. Die Übertragung von Film und Gerät Herstellung Verfahren sind auch in diesem Bericht gezeigt.

Tags

Technik Ausgabe 129 vertikale 2D Hetero-Kristallstrukturen Übergang Metall-Dichalcogenides Sulfurization Hochfrequenz-Sputtern Film die Übertragung von Transistoren
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