Journal
/
工程学
/
Fabrikasjon av ensartede nanoskala hulrom via silisium direkte wafer binding
JoVE 杂志
工程学
需要订阅 JoVE 才能查看此.  登录或开始免费试用。
JoVE 杂志 工程学
Fabrication of Uniform Nanoscale Cavities via Silicon Direct Wafer Bonding

Fabrikasjon av ensartede nanoskala hulrom via silisium direkte wafer binding

DOI:
10.3791/51179-v

•

10:32 min

•

January 09, 2014

•

, , , ,
1Department of Physics,The State University of New York at Buffalo, 2Joint Quantum Institute,University of Maryland, 3The National Institute of Standards and Technology, 4Cryogenics and Fluids Branch,NASA Goddard Space Flight Center, 5HRL Laboratories

Chapters

  • 00:05Title
  • 01:54Bonding Preparation
  • 04:38Wafer Bonding
  • 08:04Results: Analysis of Bonded Wafers
  • 09:59Conclusion

Summary

自动翻译

自动翻译

En metode for permanent binding av to silisiumskiver for å realisere et ensartet kabinett er beskrevet. Dette inkluderer wafer forberedelse, rengjøring, RT binding, og annealing prosesser. De resulterende limte wafers (celler) har ensartethet av kabinett ~ 1%1,2. Den resulterende geometrien muliggjør målinger av begrensede væsker og gasser.

Tags

Silicon Direct Wafer BondingNanoscale CavitiesConfined 4HeLambda TransitionUniform ConfinementThermal OxideLithographic PatterningRCA CleaningHigh-temperature AnnealingThermal And Hydrodynamic Properties

Article

Embed

添加到播放列表

Usage Statistics

Related Videos

Fabrikasjon og karakterisering av fotoniske krystaller bremse lys Waveguides og hulrom

Samtidig Kvantitativ Konduktivitet og mekaniske egenskaper Målinger av organiske fotovoltaiske materialer ved hjelp AFM

Mønster via Optiske mettes Transitions - Fabrikasjon og karakterisering

Termiske Måleteknikk i Analytiske microfluidic enheter

Skrevet 3-D Direkte Skriving av Suspendert Micron / Sub-mikron Scale Fiber Structures via en Robotic Dispensing System

Solvent Bonding for fabrikasjon av PMMA og COP microfluidic enheter

En ny metode for<em> I situ</em> Elektromekanisk karakterisering av nanoskalaeksempler

Fabrikasjon av magnetiske nanostrukturer på Silicon Nitride membraner for magnetisk Vortex studier med overføring mikroskopi teknikker

Fabrikasjon av tredimensjonale Grafén-baserte Polyhedrons via Origami-lignende selv Folding

Fabrikasjon av robust nanoskala kontakt mellom en Silver Nanowire elektrode og CD buffer lag i Cu (in, ga) se2 Thin-Film solceller

Read Article