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Fabricación de dispositivos de ondas acústicas de superficie en niobato de litio
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Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate
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Fabricación de dispositivos de ondas acústicas de superficie en niobato de litio

DOI:
10.3791/61013-v

•

07:55 min

•

June 18, 2020

•

, ,
1Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices and Instrumentation, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Jacobs School of Engineering and Department of Surgery, School of Medicine,University of California San Diego

Chapters

  • 00:04Introduction
  • 00:28SAW Device Fabrication Via Lift-Off Method
  • 03:21SAW Device Fabrication Via Wet Etching Method
  • 05:59Results: SAW Devices Generate Surface Acoustic Waves
  • 07:18Conclusion

Summary

Automatic Translation

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Dos técnicas de fabricación, despegue y grabado húmedo, se describen en la producción de transductores de electrodos interdigitales sobre un sustrato piezoeléctrico, niobato de litio, ampliamente utilizado para generar ondas acústicas superficiales que ahora encuentran una amplia utilidad en fluidos micro a nanoescala. Los electrodos producidos se muestran para inducir eficientemente las ondas acústicas superficiales de Rayleigh de orden de megahercios.

Tags

Surface Acoustic WaveLithium NiobateFabricationPhotoresistSpin CoatingUV ExposureRD6 DeveloperSputteringChromiumAluminum

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