Journal
/
/
Изготовление поверхностных акустических волновых устройств на литий-ниобате
JoVE Journal
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Engineering
Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate

Изготовление поверхностных акустических волновых устройств на литий-ниобате

11,279 Views

07:55 min

June 18, 2020

DOI:

07:55 min
June 18, 2020

28 Views
, ,

Summary

Automatically generated

Два метода изготовления, подъем и мокрое офорт, описаны в производстве межцифровых электродных преобразователей на пьезоэлектрическом субстрате, литиевом ниобате, широко используемом для генерации поверхностных акустических волн, которые в настоящее время находят широкую полезность в микро-нанмасштабных жидкостях. Показано, что как произведенные электроды эффективно индуцируют мегагерцовые волны, наводные акустические волны Rayleigh.

Read Article