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Herstellung von Oberflächen-Akustikwellengeräten auf Lithium-Niobat
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Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate

Herstellung von Oberflächen-Akustikwellengeräten auf Lithium-Niobat

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07:55 min

June 18, 2020

DOI:

07:55 min
June 18, 2020

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Zwei Herstellungstechniken, Lift-off und Nassätzung, werden bei der Herstellung von interdigitalen Elektrodenwandlern auf einem piezoelektrischen Substrat beschrieben, Lithiumniobat, das weit verbreitet ist, um Oberflächen-Akustikwellen zu erzeugen, die jetzt einen breiten Nutzen in der Mikro- bis nanoskaligen Fluidik finden. Die produzierten Elektroden werden gezeigt, um effizient Megahertz-Ordnung Rayleigh Oberflächen-Akustikwellen zu induzieren.

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