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Fabricação de dispositivos de onda acústica de superfície no niobato de lítio
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Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate

Fabricação de dispositivos de onda acústica de superfície no niobato de lítio

português

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07:55 min

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June 18, 2020

DOI:

10.3791/61013-v

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10.3791/61013-v

•

07:55 min
June 18, 2020

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1Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices and Instrumentation, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Jacobs School of Engineering and Department of Surgery, School of Medicine,University of California San Diego

Summary

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Duas técnicas de fabricação, decolagem e gravura úmida, são descritas na produção de transdutores de eletrodos interdigiais em um substrato piezoelétrico, nióbio de lítio, amplamente utilizado para gerar ondas acústicas superficiais agora encontrando ampla utilidade em fluidos micro para nanoescala. Os eletrodos produzidos são mostrados para induzir eficientemente ondas acústicas de superfície de Rayleigh.

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Mei, J., Zhang, N., Friend, J. Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate. J. Vis. Exp. (160), e61013, doi:10.3791/61013 (2020).

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