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/
공학
/
Mg3 N
2
およびZn3
N
2
薄膜の
血漿支援分子ビームエピタキシー成長
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공학
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공학
Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy Growth of Mg
3
N
2
and Zn
3
N
2
Thin Films
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Mg3 N
2
およびZn3
N
2
薄膜の
血漿支援分子ビームエピタキシー成長
DOI:
10.3791/59415-v
•
13:05 min
•
May 11, 2019
•
Peng Wu
,
Thomas Tiedje
1
Department of Electrical and Computer Engineering
,
University of Victoria
Chapters
00:00
Title
00:57
MgO Substrate Preparation
01:50
Operation of VG V80 MBE
02:13
Substrate Loading
04:04
Metal Flux Measurements
05:59
Nitrogen Plasma
06:51
In-situ Laser Light Scattering
08:35
Growth Rate Determination
09:13
Results
10:46
Conclusion
Summary
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本稿では、窒素源および光学成長モニタリングとしてN2ガスを用いる血漿支援分子ビームエピタキシーによるMgO基板上のMg3N2及
びZn3N2のエピタキシャルフィルムの増殖について述べた。
Tags
Plasma-assisted Molecular Beam Epitaxy
Mg3N2
Zn3N2
II-V Compound Semiconductors
Anti-bixbyite Crystal Structure
MBE Growth
MgO Substrate
High-temperature Annealing
RHEED
Quartz Crystal Microbalance
Sample Degassing
Sample Transfer
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