Waiting
로그인 처리 중...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
Journal / Engineering / Kompakt Lens-mindre Digital Holografisk mikroskop …
JoVE Journal
Engineering

JoVE 비디오를 활용하시려면 도서관을 통한 기관 구독이 필요합니다. 전체 비디오를 보시려면 로그인하거나 무료 트라이얼을 시작하세요.

JoVE Journal Engineering
Kompakt Lens-mindre Digital Holografisk mikroskop for MEMS inspeksjon og karakterisering
 
Click here for the English version

Kompakt Lens-mindre Digital Holografisk mikroskop for MEMS inspeksjon og karakterisering

Article DOI: 10.3791/53630-v • 10:28 min • July 5th, 2016
July 5th, 2016 •
1, 1, 1, 2, 1,2
1School of Mechanical and Aerospace Engineering, Center of Laser and Optical Engineering, Nanyang Technological University, 2d'Optron Pte Ltd

챕터

요약
Automatic Translation

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Vi presenterer en kompakt refleksjon digital holografisk system (CDHM) for inspeksjon og karakterisering av MEMS enheter. Et objektiv-mindre design ved hjelp av en divergerende innspill bølge gir naturlig geometrisk forstørrelsen er demonstrert. Både statiske og dynamiske studier er presentert.

Tags

Engineering Digital holografi bildesystem kvantitativ fase måling mikroskopi destruktiv testing MEMS
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter