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April 29, 2020
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提示された方法では、二次イオン質量分析に関連する測定アーチファクトを特定して解決する方法と、固体材料中の不純物/ドーパントの現実的な3D分布を取得する方法について説明します。
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Michałowski, P. P., Zlotnik, S., Jóźwik, I., Chamryga, A., Rudziński, M. 3D Depth Profile Reconstruction of Segregated Impurities Using Secondary Ion Mass Spectrometry. J. Vis. Exp. (158), e61065, doi:10.3791/61065 (2020).
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