3D عمق الشخصي إعادة بناء الشوائب المنفصلة باستخدام مطياف الكتلة الأيونية الثانوية

Michałowski, P. P., Zlotnik, S., Jóźwik, I., Chamryga, A., Rudziński, M. 3D Depth Profile Reconstruction of Segregated Impurities Using Secondary Ion Mass Spectrometry. J. Vis. Exp. (158), e61065, doi:10.3791/61065 (2020).