Journal
/
/
3D عمق الشخصي إعادة بناء الشوائب المنفصلة باستخدام مطياف الكتلة الأيونية الثانوية
JoVE Journal
Chemistry
This content is Free Access.
JoVE Journal Chemistry
3D Depth Profile Reconstruction of Segregated Impurities Using Secondary Ion Mass Spectrometry

3D عمق الشخصي إعادة بناء الشوائب المنفصلة باستخدام مطياف الكتلة الأيونية الثانوية

1,480 Views

07:10 min

April 29, 2020

DOI:

07:10 min
April 29, 2020

3 Views
, , , ,

Summary

Automatically generated

تصف الطريقة المقدمة كيفية تحديد وحل القطع الأثرية للقياس المتعلقة بمطياف الكتلة الأيونية الثانوية وكذلك الحصول على توزيعات 3D واقعية للشوائب / dopants في مواد الحالة الصلبة.

Read Article