Journal
/
Chemistry
/
3D-dybdeprofilrekonstruktion af adskilte urenheder ved hjælp af sekundær ionmassespektrometri
JoVE Journal
Chemistry
This content is Free Access.
JoVE Journal Chemistry
3D Depth Profile Reconstruction of Segregated Impurities Using Secondary Ion Mass Spectrometry

3D-dybdeprofilrekonstruktion af adskilte urenheder ved hjælp af sekundær ionmassespektrometri

DOI:
10.3791/61065-v

•

07:10 min

•

April 29, 2020

•

, , , ,
1Łukasiewicz Research Network-Institute of Electronic Materials Technology

Chapters

  • 00:00Introduction
  • 00:57Defect Selective Etching
  • 02:09Scanning Electron Microscopy
  • 02:50Secondary Ion Mass Spectrometry
  • 05:34Results: Oxygen Counts in a Cuboid
  • 06:29Conclusion

Summary

Automatic Translation

Automatic Translation

Den præsenterede metode beskriver, hvordan man identificerer og løser måleartefakter relateret til sekundær ionmassespektrometri samt opnår realistiske 3D-fordelinger af urenheder / doteringsmidler i faststofmaterialer.

Tags

Keywords: 3D Depth ProfileSegregated ImpuritiesSecondary Ion Mass SpectrometrySemiconductor TechnologyStructural DefectsEutectic MixtureDefect-selective EtchingGallium NitrideScanning Electron MicroscopySIMS Calibration

Article

Embed

ADD TO PLAYLIST

Usage Statistics

Related Videos

check_url/61065?article_type=v

Analyserer Protein Dynamics hjælp af brint Exchange massespektrometri
check_url/61065?article_type=v

Analysere foto-oxidation af 2-propanol på indendørs luft koncentrationer ved hjælp af feltet asymmetriske Ion mobilitet massespektrometri
check_url/61065?article_type=v

En HS-MRM analyse til kvantificering af værts-celle proteiner i Protein Biopharmaceuticals af væskekromatografi Ion mobilitet QTOF massespektrometri
check_url/61065?article_type=v

Real-time ånde analyse ved hjælp af sekundære Nanoelectrospray ionisering koblet til høj opløsning massespektrometri
check_url/61065?article_type=v

Syntese og massespektrometri analyse af Oligo-peptoids
check_url/61065?article_type=v

En effektiv prøve forberedelse metode til at øge kulhydrat Ion signaler i Matrix assisted Laser Desorption/Ionisation massespektrometri
check_url/61065?article_type=v

Storstilet Top-down Proteomics brug af kapillar Zone elektroforese Tandem massespektrometri
check_url/61065?article_type=v

Høj overførselshastighed og omfattende stof overvågning ved hjælp af Multisegment injektion-kapillær elektroforese massespektrometri
check_url/61065?article_type=v

Imaging korrosion på metal-Paint interface brug Time-of-Flight sekundær ion massespektrometri
check_url/61065?article_type=v

Ion Mobility-massespektrometri teknikker til bestemmelse af strukturen og mekanismerne for metal Iongenkendelse og Redoxaktivitet af metal bindende oligopeptider

Read Article