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에어로졸 증착을 사용하여 두꺼운 고밀도 이트륨 철 가넷 필름의 형성

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Formation of Thick Dense Yttrium Iron Garnet Films Using Aerosol Deposition

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에어로졸 증착을 사용하여 두꺼운 고밀도 이트륨 철 가넷 필름의 형성

DOI:

10.3791/52843-v

•

10:52 min

•

May 15, 2015

•

Scooter D. Johnson, Evan R. Glaser, Fritz J. Kub, Charles R. Eddy, Jr.

¹Power Electronics Branch,Naval Research Laboratory, ²Physics of Electronic Materials Branch,Naval Research Laboratory

Chapters

00:05Title
01:42Aerosol Deposition Equipment and Experiment Preparation
04:51Establishing the Pressure Gradient and Collecting Data
08:44Results: Morphology and Properties of an Aerosol Deposition Film of YIG on a Sapphire Substrate
10:26Conclusion

Summary

Automatic Translation

이 보고서는 실온에서 사파이어 기판에 이트륨 철 가넷의 두꺼운 필름의 에어로졸 증착을 수행 할 수있는 맞춤형 시스템의 사용에 대해 설명합니다. 증착 된 필름은 기술의 능력의 대표적인 개요를 제공하는 주사 전자 현미경, 프로파일 로메, 강자성 공명을 특징으로한다.

Tags

Keywords: Aerosol Deposition Yttrium Iron Garnet Thick Film Deposition High-density Films Ferromagnetic Resonance Scanning Electron Microscopy Film Characterization

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