В этом докладе описывается использование заказного системы для выполнения аэрозольного осаждения толстых пленок железо-иттриевого граната на сапфировых подложках при комнатной температуре. Осажденные пленки характеризуются использованием сканирующей электронной микроскопии, профилометрию и ферромагнитного резонанса, чтобы дать репрезентативную обзор возможностей техники.
Johnson, S. D., Glaser, E. R., Kub, F. J., Eddy, Jr., C. R. Formation of Thick Dense Yttrium Iron Garnet Films Using Aerosol Deposition. J. Vis. Exp. (99), e52843, doi:10.3791/52843 (2015).