Dergi
/
/
Metal-Assisted Electrochemical Nanoimprinting of Porous and Solid Silicon Wafers
JoVE Journal
Mühendislik
Bu içeriği görüntülemek için JoVE aboneliği gereklidir.  Oturum açın veya ücretsiz deneme sürümünü başlatın.
JoVE Journal Mühendislik
Metal-Assisted Electrochemical Nanoimprinting of Porous and Solid Silicon Wafers

Metal-Assisted Electrochemical Nanoimprinting of Porous and Solid Silicon Wafers

3,736 Views

09:18 min

February 08, 2022

DOI:

09:18 min
February 08, 2022

4 Views
, , ,

Özet

Automatically generated

A protocol for metal-assisted chemical imprinting of 3D microscale features with sub-20 nm shape accuracy into solid and porous silicon wafers is presented.

Read Article