3,725 Views
•
09:18 min
February 08, 2022
DOI:
10.3791/61040-v
يتم تقديم بروتوكول للطباعة الكيميائية بمساعدة المعادن لميزات microscale 3D بدقة شكل أقل من 20 نانومتر في رقائق السيليكون الصلبة والمسامية.
Read Article
Cite this Article
Sharstniou, A., Niauzorau, S., Junghare, A., Azeredo, B. P. Metal-Assisted Electrochemical Nanoimprinting of Porous and Solid Silicon Wafers. J. Vis. Exp. (180), e61040, doi:10.3791/61040 (2022).
Download .ris file
Copy
Share Video
.