A method for the growth of low temperature vertically-aligned carbon nanotubes, and the subsequent fabrication of vertical interconnect electrical test structures using semiconductor fabrication is presented.

सेमीकंडक्टर तकनीक के साथ संगत कम तापमान कार्बन नैनोट्यूब कार्यक्षेत्र interconnects के निर्माण

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