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二酸化バナジウムと温度依存性の光学モデルの原子層堆積法
 
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二酸化バナジウムと温度依存性の光学モデルの原子層堆積法

Article DOI: 10.3791/57103-v • 11:10 min • May 23rd, 2018
May 23rd, 2018 •
1, 1, 1
1Naval Research Laboratory

챕터

요약
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二酸化バナジウム (VO2) の薄膜 (100-1000 Å) は、サファイア基板上の原子層堆積法 (ALD) によって作成されました。次に、光学特性は VO2の金属-絶縁体転移によって特徴付けられました。測定の光学特性から VO2の可変の屈折を記述するモデルを作成しました。

Tags

工学問題 135、原子層堆積法、薄膜フィルム成長、低温成長、金属-絶縁体転移、光学特性は、光の屈折
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