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医用フォトレジスト スプレー塗装と柔軟なフォトマスクを使用して皮下注射針の先端の微細電極の作製
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Fabrication of Fine Electrodes on the Tip of Hypodermic Needle Using Photoresist Spray Coating and Flexible Photomask for Biomedical Applications
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Click here for the English version.
医用フォトレジスト スプレー塗装と柔軟なフォトマスクを使用して皮下注射針の先端の微細電極の作製
DOI:
10.3791/56622-v
•
08:15 min
•
November 28, 2017
•
Joho Yun
,
Jinhwan Kim
,
Jong-Hyun Lee
2
1
Department of Biomedical Science and Engineering
,
Gwangju Institute of Science and Technology (GIST)
,
2
School of Mechanical Engineering
,
Gwangju Institute of Science and Technology (GIST)
Chapters
00:05
Title
00:50
Needle Preparation: Insulation, Sputtering, and Spray Coating
02:59
UV Exposure and Developing
04:24
Chromium/Gold Wet Etching and Removal of Residual Photoresist and Passivation
05:44
Results: Fine Electrode Fabrication
07:33
Conclusion
Summary
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高級櫛型電極の作製法 (ギャップと幅: 20 μ m) 注射針の先端に (直径: 720 μ m) フォトリソグラフィ工程でスプレー塗装と柔軟なフィルム フォトマスクを使用して示されて。
Tags
Fabrication
Fine Electrodes
Hypodermic Needle
Photoresist
Spray Coating
Flexible Photomask
Biomedical Applications
Micro Diode Sensor
Drug Delivery
Biopsy
Surgery
Cauterizing Electrophotometer
Heat Shrink Tube
Sputtering
Chromium
Gold
Soft Baking
Photolithography
Alignment
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