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원자 층 증착을 통해 게르마늄에 페 로브 스카이 스트론튬 티탄의 에피 택셜 성장
 
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원자 층 증착을 통해 게르마늄에 페 로브 스카이 스트론튬 티탄의 에피 택셜 성장

Article DOI: 10.3791/54268-v • 09:45 min • July 26th, 2016
July 26th, 2016 •
1, 1, 1, 1
1McKetta Department of Chemical Engineering, The University of Texas at Austin

챕터

요약
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이 작업은 원자 층 증착에 의해 게르마늄 기판 상에 직접 결정 된 SrTiO3 (3)의 성장 및 특성화에 대한 세부 절차. 절차는 금속 산화물 반도체 소자에 모 놀리 식 반도체 산화물을 통합하는 모든 화학 성장 법의 성능을 나타낸다.

Tags

화학 판 (113) 원자 층 증착 페 로브 스카이 트 (perovskite) 스트론튬 티탄산 된 SrTiO3
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