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Luce migliorato Acido fluoridrico passivazione: una tecnica sensibile per il rilevamento di difetti Silicon Bulk
JoVE 杂志
工程学
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JoVE 杂志 工程学
Light Enhanced Hydrofluoric Acid Passivation: A Sensitive Technique for Detecting Bulk Silicon Defects
DOI:

09:15 min

January 04, 2016

Chapters

  • 00:05Title
  • 01:02Cleaning and Etching the Silicon Wafers
  • 04:08Silicon Wafer Passivation and Photoconductive (PC) Measurement
  • 07:08Results: Silicon Wafer Photoconductive Measurement after Surface Passivation
  • 08:10Conclusion

Summary

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A RT superficie liquida tecnica di passivazione per indagare l'attività ricombinazione di difetti di silicio di massa è descritta. Per la tecnica abbia successo, tre passaggi critici sono richiesti: (i) pulizia chimica ed attacco del silicio, (ii) l'immersione del silicio in 15% di acido fluoridrico e (iii) l'illuminazione per 1 min.

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