/
/
Изготовление нановысотных каналов, включающих поверхностную акустическую волну, активацию с помощью литиевого ниобата для акустических нанофлюидиков
A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
5,564 Views
•
07:23 min
•
February 05, 2020
DOI:
Summary
Automatically generated
Мы демонстрируем изготовление нановысотных каналов с интеграцией поверхностных акустических волновых устройств активации на литиевый ниобат для акустической нанофлюитики с помощью фотолитографии подъема, нано-глубокого реактивного ионного травления и комнатно-температурной плазмы многослойная связь однокристаллического лития-ниобата, процесса, столь же полезного для склеивания ниобата лития с оксидами.
Read Article
Cite this Article
Zhang, N., Friend, J. Fabrication of Nanoheight Channels Incorporating Surface Acoustic Wave Actuation via Lithium Niobate for Acoustic Nanofluidics. J. Vis. Exp. (156), e60648, doi:10.3791/60648 (2020).
Copy