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Fabricação de canais de nanoaltura incorporando atuação de onda acústica superficial via Niobate de lítio para nanofluidos acústicos
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Fabrication of Nanoheight Channels Incorporating Surface Acoustic Wave Actuation via Lithium Niobate for Acoustic Nanofluidics

Fabricação de canais de nanoaltura incorporando atuação de onda acústica superficial via Niobate de lítio para nanofluidos acústicos

português

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07:23 min

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February 05, 2020

DOI:

10.3791/60648-v

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10.3791/60648-v

•

07:23 min
February 05, 2020

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1Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Jacobs School of Engineering, and the Department of Surgery, School of Medicine,University of California San Diego

Summary

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Demonstramos fabricação de canais de nanoaltura com a integração de dispositivos de atuação de ondas acústicas de superfície sobre niobate de lítio para nanofluidos acústicos via fotolitografia de decolagem, gravura de íonrere reativo nano-profundidade e plasma de temperatura ambiente ligação multicamada ativada pela superfície de niobate de lítio de cristal único, um processo igualmente útil para ligar niobate de lítio a óxidos.

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Nanoheight ChannelsSurface Acoustic WaveLithium NiobateAcoustic NanofluidicsNanofabricationPlasma BondingPhotolithographyReactive Ion EtchingChromium EtchingSolvent Cleaning

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Zhang, N., Friend, J. Fabrication of Nanoheight Channels Incorporating Surface Acoustic Wave Actuation via Lithium Niobate for Acoustic Nanofluidics. J. Vis. Exp. (156), e60648, doi:10.3791/60648 (2020).

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