Journal
/
Chemistry
/
反応性スパッタリングによって堆積した酸化ニオブ膜:酸素流量の影響
JoVE Journal
Chemistry
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Chemistry
Niobium Oxide Films Deposited by Reactive Sputtering: Effect of Oxygen Flow Rate
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

反応性スパッタリングによって堆積した酸化ニオブ膜:酸素流量の影響

DOI:
10.3791/59929-v

•

08:23 min

•

September 28, 2019

•

, , , , ,
1Chemistry Department,Federal University of São Carlos (UFSCAR), 2Physics Department, School of Sciences,São Paulo State University (UNESP)

Chapters

  • 00:04Title
  • 00:47Niobium Oxide Film Deposition
  • 03:55Solar Cell Construction
  • 05:46Results: The Effects of Oxygen Flow Rates on Reactive Sputtering
  • 07:23Conclusion

Summary

Automatic Translation

Automatic Translation

ここでは、ペロブスカイト太陽電池における電子輸送層として用いる酸素流量の異なる反応スパッタリングによる酸化ニオブ膜堆積のプロトコルを提示する。

Tags

Reactive SputteringNiobium Oxide FilmsOxygen Flow RateThin Film DepositionSubstrate PreparationSputtering Process ParametersFilm ThicknessPlasma CleaningImpedance Matching

Article

Embed

ADD TO PLAYLIST

Usage Statistics

Related Videos

複合酸化物薄膜のエピタキシャル成長のために原子的に定義されたテンプレート

大面積自立超薄ポリマーフィルムの作製

膜酵素で溶剤ダイナミクスによって誘導される解明エントロピーレートの高速化

薄いガラス質膜のダイナミクスを決定するレート依存エリプソメトリー測定を冷却

化学溶液法によるシリコン上のマクロポーラスエピタキシャル石英薄膜の作製

NMRによるリアルタイム酵素反応速度測定のための溶解動的核分極計装

エアロゾルによる金属酸化物の構造の化学蒸着: 酸化亜鉛棒

任意の基板上への共役ポリマー薄膜の反応性蒸着

ミル-96、UiO-66-NH2原子層のソルボサーマル合成繊維のマット上金属酸化皮膜に堆積

成長・アニール時の酸素空孔制御による酸化物物性の調整

Read Article