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医用フォトレジスト スプレー塗装と柔軟なフォトマスクを使用して皮下注射針の先端の微細電極の作製
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Fabrication of Fine Electrodes on the Tip of Hypodermic Needle Using Photoresist Spray Coating and Flexible Photomask for Biomedical Applications
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医用フォトレジスト スプレー塗装と柔軟なフォトマスクを使用して皮下注射針の先端の微細電極の作製

DOI:
10.3791/56622-v

•

08:15 min

•

November 28, 2017

•

, ,
1Department of Biomedical Science and Engineering,Gwangju Institute of Science and Technology (GIST), 2School of Mechanical Engineering,Gwangju Institute of Science and Technology (GIST)

Chapters

  • 00:05Title
  • 00:50Needle Preparation: Insulation, Sputtering, and Spray Coating
  • 02:59UV Exposure and Developing
  • 04:24Chromium/Gold Wet Etching and Removal of Residual Photoresist and Passivation
  • 05:44Results: Fine Electrode Fabrication
  • 07:33Conclusion

Summary

Automatic Translation

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高級櫛型電極の作製法 (ギャップと幅: 20 μ m) 注射針の先端に (直径: 720 μ m) フォトリソグラフィ工程でスプレー塗装と柔軟なフィルム フォトマスクを使用して示されて。

Tags

FabricationFine ElectrodesHypodermic NeedlePhotoresistSpray CoatingFlexible PhotomaskBiomedical ApplicationsMicro Diode SensorDrug DeliveryBiopsySurgeryCauterizing ElectrophotometerHeat Shrink TubeSputteringChromiumGoldSoft BakingPhotolithographyAlignmentCCD Display Monitor

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