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Fabrication d’électrodes fines à l’extrémité de la seringue hypodermique à l’aide d’enduit de pulvérisation de résine photosensible et photomasque Flexible pour Applications biomédicales
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Fabrication of Fine Electrodes on the Tip of Hypodermic Needle Using Photoresist Spray Coating and Flexible Photomask for Biomedical Applications
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Fabrication d’électrodes fines à l’extrémité de la seringue hypodermique à l’aide d’enduit de pulvérisation de résine photosensible et photomasque Flexible pour Applications biomédicales

DOI:
10.3791/56622-v

•

08:15 min

•

November 28, 2017

•

, ,
1Department of Biomedical Science and Engineering,Gwangju Institute of Science and Technology (GIST), 2School of Mechanical Engineering,Gwangju Institute of Science and Technology (GIST)

Chapters

  • 00:05Title
  • 00:50Needle Preparation: Insulation, Sputtering, and Spray Coating
  • 02:59UV Exposure and Developing
  • 04:24Chromium/Gold Wet Etching and Removal of Residual Photoresist and Passivation
  • 05:44Results: Fine Electrode Fabrication
  • 07:33Conclusion

Summary

Automatic Translation

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Le procédé de fabrication d’électrodes interdigitées fines (gap et largeur : 20 µm) à la pointe d’une aiguille hypodermique (diamètre : 720 µm) est démontrée en utilisant un jet enduit et photomasque film souple dans le processus de photolithographie.

Tags

FabricationFine ElectrodesHypodermic NeedlePhotoresistSpray CoatingFlexible PhotomaskBiomedical ApplicationsMicro Diode SensorDrug DeliveryBiopsySurgeryCauterizing ElectrophotometerHeat Shrink TubeSputteringChromiumGoldSoft BakingPhotolithographyAlignmentCCD Display Monitor

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