Journal
/
Chemistry
/
Atomik Katman Biriktirme aracılığıyla Germanyum üzerinde Perovskit Stronsiyum Titanate Epitaksiyel Büyüme
JoVE Journal
Chemistry
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Chemistry
Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Atomik Katman Biriktirme aracılığıyla Germanyum üzerinde Perovskit Stronsiyum Titanate Epitaksiyel Büyüme

Türkçe

Automatically Generated

12,119 Views

•

09:45 min

•

July 26, 2016

DOI:

10.3791/54268-v

DOI:
10.3791/54268-v

•

09:45 min
July 26, 2016

•

8 Views
, , ,
1McKetta Department of Chemical Engineering,The University of Texas at Austin

Summary

Automatically generated

Bu çalışma atomik tabaka birikimi ile germanyum yüzeylerde doğrudan kristal SrTiO 3 büyümesi ve karakterizasyonu için prosedürler ayrıntıları. Prosedür metal oksit yarı iletken cihazlar için yarı iletkenler üzerine monolitik oksitler entegre bir all-kimyasal büyüme yönteminin yeteneğini gösterir.

Explore More Videos

Epitaxial GrowthPerovskiteStrontium TitanateGermaniumAtomic Layer DepositionMicroelectronicsDielectricCrystalline OxidesInterface StatesManufacturingPrecursorsMolecular Beam EpitaxySubstrate CleaningUV Ozone CleaningVacuum System

Read Article

Cite this Article

Lin, E. L., Edmondson, B. I., Hu, S., Ekerdt, J. G. Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition. J. Vis. Exp. (113), e54268, doi:10.3791/54268 (2016).

Download .ris file

Copy

Share Video

.

Copy