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08:45 min
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August 01, 2014
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本論文では、微小電気機械システム（MEMS）の構造及び装置の柔軟な製造のための3D加法micromanufacturing戦略（と呼ばれる「マイクロ石造 '）を導入しています。このアプローチは、急速熱アニール·イネーブル材接合技術と組み合わせてミクロ/ナノスケール材料の転写印刷ベースの組立体を含む。
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Keum, H., Kim, S. Micro-masonry for 3D Additive Micromanufacturing. J. Vis. Exp. (90), e51974, doi:10.3791/51974 (2014).
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