/
/
Изготовление нано-инженерии прозрачных проводящих оксидов методом импульсного лазерного осаждения
A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
Chapters
- 00:05Title
- 01:30Substrate Preparation
- 02:01Laser Alignment and Selection of Laser Parameters
- 03:33Target Alignment, Pre-ablation and Data Collection for Plasma Plume Length Determination
- 04:51Calibration of the Film Thickness
- 05:58Deposition of Compact AZO Films
- 07:25Deposition of Hierarchically Structured AZO Films
- 08:08Results: Compact and Forest-like AZO Films and Their Properties
- 09:39Conclusion
Мы описываем экспериментального метода для нанесения наноструктурированных тонких пленок оксида наносекундной импульсного лазерного осаждения (PLD) в присутствии фонового газа. При использовании этого метода Аль-легированного оксида цинка (AZO) фильмов, от компактных до иерархически структурированы, как нано-дерево леса, может быть сдан на хранение.
